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 产品名称：xyz直线电机滑台 产品概要： -- 直线轴xyz纳米级定位精度； -- 精密交叉滚柱导轨。 -- 主体铝合金材质 产品精度： -- xy轴重复精度±100nm -- z轴重复精度±200nm |  产品名称：xyθ平台 产品概要： -- 直线轴xy 旋转轴θ电机平台； -- 小行程精密运动场合； 产品精度： -- xy轴重复精度±0.5μm -- θ旋转轴精度±2.5arcsec |  产品名称：耦合平台 产品概要： -- 直线轴xyz 旋转轴abc共6轴电机平台； -- 适用光纤耦合； 产品精度： -- xyz轴重复精度0.3μm -- abc旋转轴重复精度±1.5arc sec |
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